真空度测量方法主要包括以下几种:

  1. 压力表法:这种方法通常使用玻璃真空压力表或金属盒式压力表。将真空压力表连接到被测系统中,通过观察压力表上的读数来计算真空度。需要注意的是,这种方法受限于真空表的精度和校准情况。

  2. 电离真空计法:电离真空计利用电离电压与气体密度之间的关系来测量真空度。它分为电阻式和电容式两种。电阻式电离真空计适用于低真空度测量,而电容式电离真空计则适用于高真空度测量。

  3. 饱和蒸汽压法:该方法通过测量液体(如蒸馏水)在密闭容器内的饱和蒸汽压来推算真空度。当容器内的蒸汽压等于外界大气压时,容器内的真空度即为1个大气压。这种方法适用于测量高真空度的系统。

  4. 薄膜干涉法:利用薄膜干涉现象来测量真空度。这种方法通过观察薄膜的干涉条纹变化来推算真空度。由于干涉条纹的变化与真空度的变化密切相关,因此可以通过测量干涉条纹的变化来确定真空度。

  5. 光电子能谱法:该方法利用高能光子轰击被测气体分子,使气体分子电离,并测量电离产生的光电子的能谱分布。通过分析能谱分布中的特定能量值,可以推算出气体的密度和真空度。

  6. 磁控管法:利用磁控管产生的电子束在磁场中受到洛伦兹力而偏转的特性来测量真空度。当电子束与气体分子相互作用时,会产生电离现象,通过测量电离产生的离子电流来推算真空度。

  7. 冷阴极射线示波器法:使用冷阴极射线示波器观测电子束在磁场中的运动轨迹,根据轨迹的弯曲程度来推算真空度。

这些方法各有优缺点,可以根据实际需求和测量环境选择合适的测量方法。在实际应用中,可能需要结合多种方法进行综合测量以获得更准确的真空度数据。